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Das Rasterelektronenmikroskop (Philips XL
30, LaB6, 30kV, siehe folgendes Bild) ist
für die Bilddarstellung ausgestattet mit
einem
Sekundärelektronendetektor
(SE-Detektor, Bild REM2), der bevorzugt bei
der Abbildung der Topographie (z.B.
Bruchflächen) zum Einsatz kommt, sowie
einem
Rückstreuelektronendetektor
(BSE-Detektor, Bild REM2), u.a. zur
Untersuchung metallisch ebener
Schliffproben.
Für die Messung der Kornorientierung
kristalliner metallischer Werkstoffe nach
dem EBSD-Verfahren steht eine
Messeinrichtung mit entsprechender Software
(OIM) zur Verfügung.
Außerdem enthält das REM zusätzlich eine
Einrichtung (EDX-Detektor, siehe obiges
Bild) mit dazugehöriger Auswertungssoftware
für die Mikrobereichsanalyse, die
qualitative und quantitative Aussagen
bezüglich der lokalen Zusammensetzung
gestattet.
Zusätzlich ermöglicht diese Software die
Aufnahme von Elementverteilungsbildern.
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