SEM

CamScan

Das CamScan ist ein robustes Rasterelektronenmikroskop (REM), das sein ergonomisches Design und seine Benutzerfreundlichkeit mit einer großen Anzahl an Bedienmöglichkeiten kombiniert. Bei den unterschiedlichsten Proben (Volumenmaterialien, Pulvern, Fasern, dünne Schichten etc.), die weder in optischen noch in konventionellen Transmissionselektronenmikroskopen abgebildet werden können, wird das REM zur Bestimmung der Mikrostruktur eingesetzt. Das resultierende Bild wirkt sehr plastisch. Die Bildvergrößerung des REMs kann dabei leicht bei einer annehmbaren Auflösung von ungefähr 20 nm von 10- bis 300 000-fach kontrolliert werden. Der Probenhalter ist rotier- (360°) und schwenkbar (> +/- 50°). Der Arbeitsabstand reicht von 58 mm bis herunter zu 16 mm. Auf Grund der sehr geräumigen Probenkammer können die geometrischen Ausmaße der Proben einige Zentimeter (in alle drei Raumrichtungen) betragen, wodurch das CamScan ein ideales Werkzeug für die industrielle Schadensanalyse darstellt. Die generierten Bilder der zu analysierenden Probe können digital aufgezeichnet und gespeichert werden.

Sowohl ein energie-dispersives (EDX, EDAX) als auch ein wellenlängen-dispersives (WDX, WDX-3PC) Röntgenspektrometer sind am REM des Lehrstuhls integriert. Diese Spektrometer erlauben eine qualitative und quantitative Elementbestimmung mit einer hohen räumlichen Auflösung (wenige Kubikmikrometer). EDX und WDX können außerdem dazu benutzt werden, Homogenitäten und Gradienten in der Zusammensetzung der Proben zu bestimmen. Diese Techniken sind zerstörungsfrei und zeigen bei Elementen, die schwerer sind als Kohlenstoff eine Sensitivität von >0.1%.