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Materialwissenschaft dünner Schichten und Schichtsysteme


SS SWS: 2 ECTS: 3 Prüfung: mündlich Dr. M. Vogel

Die Dünnschichttechnologie spielt in vielen Industriezweigen eine wichtige Rolle. Mit steigender Tendenz! Es gibt zahlreiche Anwendungen für dünne Schichten in Bereichen wie Kommunikationstechnik, Optoelektronik, Mikroelektronik, Energieerzeugung und –umwandlung u.v.m. In dieser Vorlesung sollen die physikalischen Schlüsselbegriffe eingeführt und erläutert werden, die für die Abscheidung, den Wachstum und die Charakterisierung dünner Schichten eine Rolle spielen. Da die wichtigsten Verfahren der Dünnschichttechnik die PVD und CVD sind, wird zunächst eine grundlegende Einführung in die Vakuumtechnik gegeben. Auf die einzelnen Verfahren der PVD und CVD wird hingegen nur am Rande eingegangen. Ausgehend von repräsentativen Anwendungsbeispielen, wird dann die Physik des Kristallwachstums (Keimbildung, Epitaxie, Wachstumsmodelle) und die daraus resultierenden Eigenschaften (mechanisch, elektrisch, optisch) von dünnen Schichten besprochen.

Allgemein
Zeit: Die Termine sind in der unteren Tabelle zusammengefasst.
Ort: Live Onlinevorlesung per ZOOM: https://uni-siegen.zoom.us/j/93398450930
Links: unisono
Prüfung
Zeit: Wird später bekannt gegeben.
Ort: Wird später bekannt gegeben.
Ablauf: Wird später bekannt gegeben.
Material

Wird während der Vorlesung hier bereitgestellt.

Kapitel 1: 2021mwdss-kap.1.pdf (Foliensammlung), 2021mwdss-kap.1_notes.pdf (Handzettel)
Kapitel 2: 2021mwdss-kap.2.pdf (Foliensammlung), 2021mwdss-kap.2_notes.pdf (Handzettel)
Video Portal
Die Vorlesung wird per Live-Videokonferenz auf der Plattform ZOOM stattfinden. Der Link ist in der unteren Tabelle angegeben.
Terminplanung
Erster Termin ist planmäßig Donnerstag, 15.04.2021 per Videokonferenz. Es gibt zwei Ausfalltermine durch Feiertage und eine Terminverschiebung von Donnersta, 27.05. auf Montag, 10.05.. Die Termine sind unten aufgeführt.

Tag Datum Zeit Raum Status Kommentar
Donnerstag 15.04. 12 ct Videovorlesung findet statt.

https://uni-siegen.zoom.us/j/93398450930

Donnerstag 22.04. 12 ct Videovorlesung
findet statt.

https://uni-siegen.zoom.us/j/93398450930

Donnerstag 29.04. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 06.05. 12 ct Videovorlesung findet statt. Link: s.o.
Montag  10.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 20.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 10.06. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 17.06. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 24.06. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 01.07. 12 ct Videovorlesung findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 08.07. 12 ct Videovorlesung findet statt. Link: s.o.
Donnerstag  15.07. 12 ct Videovorlesung findet statt. Link: s.o.
Donnerstag 22.07. 12 ct Videovorlesung findet statt. Link: s.o.