Materialwissenschaft dünner Schichten und Schichtsysteme
| SS | SWS: 2 | ECTS: 3 | Prüfung: mündlich | Dr. A. Zubtsovskii |
Die Dünnschichttechnologie spielt in vielen Industriezweigen eine wichtige Rolle. Mit steigender Tendenz! Es gibt zahlreiche Anwendungen für dünne Schichten in Bereichen wie Kommunikationstechnik, Optoelektronik, Mikroelektronik, Energieerzeugung und –umwandlung u.v.m. In dieser Vorlesung sollen die physikalischen Schlüsselbegriffe eingeführt und erläutert werden, die für die Abscheidung, den Wachstum und die Charakterisierung dünner Schichten eine Rolle spielen. Da die wichtigsten Verfahren der Dünnschichttechnik die PVD und CVD sind, wird zunächst eine grundlegende Einführung in die Vakuumtechnik gegeben. Auf die einzelnen Verfahren der PVD und CVD wird hingegen nur am Rande eingegangen. Ausgehend von repräsentativen Anwendungsbeispielen, wird dann die Physik des Kristallwachstums (Keimbildung, Epitaxie, Wachstumsmodelle) und die daraus resultierenden Eigenschaften (mechanisch, elektrisch, optisch) von dünnen Schichten besprochen.