Materialwissenschaft dünner Schichten und Schichtsysteme
| SS | SWS: 2 | ECTS: 3 | Prüfung: mündlich | Dr. M. Vogel |
Die Dünnschichttechnologie spielt in vielen Industriezweigen eine wichtige Rolle. Mit steigender Tendenz! Es gibt zahlreiche Anwendungen für dünne Schichten in Bereichen wie Kommunikationstechnik, Optoelektronik, Mikroelektronik, Energieerzeugung und –umwandlung u.v.m. In dieser Vorlesung sollen die physikalischen Schlüsselbegriffe eingeführt und erläutert werden, die für die Abscheidung, den Wachstum und die Charakterisierung dünner Schichten eine Rolle spielen. Da die wichtigsten Verfahren der Dünnschichttechnik die PVD und CVD sind, wird zunächst eine grundlegende Einführung in die Vakuumtechnik gegeben. Auf die einzelnen Verfahren der PVD und CVD wird hingegen nur am Rande eingegangen. Ausgehend von repräsentativen Anwendungsbeispielen, wird dann die Physik des Kristallwachstums (Keimbildung, Epitaxie, Wachstumsmodelle) und die daraus resultierenden Eigenschaften (mechanisch, elektrisch, optisch) von dünnen Schichten besprochen.
Stand: 30.05.2022, Änderungen seit 31.01.2022: 2
- 16.03.2022: Neue Terminplanung!
- 30.05.2022: Terminänderung. 2.6. fällt aus. Ersatztermin 6.6.
- 03.06.2022: 6.6. fällt aus wegen Feiertag.
- 17.06.2022: 30.06. wird auf den 1.7. verschoben. Ein letzter Ersatztermin Montag 11.07.
- 11.07.2022: Prüfungsanmeldung läuft!
Ort: Live Onlinevorlesung per ZOOM: https://uni-siegen.zoom.us/j/97315999514 und Videovorlesungen auf moodle.
Links: unisono, moodle
Ort: PB-H 0101
Ablauf: Bitte melden Sie sich bis spätestens 25.08.2022, 12:00 Uhr an. Die Anmeldung erfolgt telefonisch oder per E-Mail im Sekretariat: A. Brombach, 0271 740 2491, andrea.brombach@uni-siegen.de. Dies ersetzt nicht die Anmeldung zur Prüfung per unisono!
Wird während der Vorlesung in Moodle bereitgestellt.
Den Schlüssel zur Selbsteinschreibung in den Kurs MWDS finden Sie nach Zulassung in unisono unter "Dokumente".
Zusätzlich werden die Vorlesungen aufgezeichnet und in moodle bereitgestellt.
| Tag | Datum | Zeit | Raum | Status | Kommentar |
|---|---|---|---|---|---|
| Donnerstag | 07.04. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | |
| Donnerstag | 14.04. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | |
| Donnerstag | 21.04. | fällt aus. | |||
| Donnerstag | 28.04. | fällt aus. | |||
| Donnerstag | 05.05. | fällt aus. | |||
| Montag | 09.05. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | Ersatztermin. |
| Donnerstag | 12.05. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | |
| Montag | 16.05. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | Ersatztermin. |
| Donnerstag | 19.05. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | |
| Montag | 23.05. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | Ersatztermin. |
| Donnerstag | 26.05. | fällt aus. (Feiertag) | |||
| Freitag | 27.05. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | Ersatztermin. |
| Donnerstag | 02.06. | fällt aus. | |||
| Montag | 06.06. | fällt aus. (Feiertag) | Danke für den Hinweis. | ||
| Donnerstag | 09.06. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | |
| Donnerstag | 16.06. | fällt aus. (Feiertag) | |||
| Donnerstag | 23.06. | fällt aus. | |||
| Donnerstag | 30.06. | 12 ct | Videovorlesung | fällt aus. | |
| Freitag | 01.07. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | Ersatztermin. |
| Donnerstag | 07.07. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | |
| Montag | 11.07. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. | Ersatztermin. |
| Donnerstag | 14.07. | 12 ct | Videovorlesung | findet statt. |