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Materialwissenschaft dünner Schichten und Schichtsysteme


SS SWS: 2 ECTS: 3 Prüfung: mündlich Dr. M. Vogel

Die Dünnschichttechnologie spielt in vielen Industriezweigen eine wichtige Rolle. Mit steigender Tendenz! Es gibt zahlreiche Anwendungen für dünne Schichten in Bereichen wie Kommunikationstechnik, Optoelektronik, Mikroelektronik, Energieerzeugung und –umwandlung u.v.m. In dieser Vorlesung sollen die physikalischen Schlüsselbegriffe eingeführt und erläutert werden, die für die Abscheidung, den Wachstum und die Charakterisierung dünner Schichten eine Rolle spielen. Da die wichtigsten Verfahren der Dünnschichttechnik die PVD und CVD sind, wird zunächst eine grundlegende Einführung in die Vakuumtechnik gegeben. Auf die einzelnen Verfahren der PVD und CVD wird hingegen nur am Rande eingegangen. Ausgehend von repräsentativen Anwendungsbeispielen, wird dann die Physik des Kristallwachstums (Keimbildung, Epitaxie, Wachstumsmodelle) und die daraus resultierenden Eigenschaften (mechanisch, elektrisch, optisch) von dünnen Schichten besprochen.

Stand: 30.05.2022, Änderungen seit 31.01.2022: 2

  • 16.03.2022: Neue Terminplanung!
  • 30.05.2022: Terminänderung. 2.6. fällt aus. Ersatztermin 6.6.
  • 03.06.2022: 6.6. fällt aus wegen Feiertag. 
  • 17.06.2022: 30.06. wird auf den 1.7. verschoben. Ein letzter Ersatztermin Montag 11.07. 
  • 11.07.2022: Prüfungsanmeldung läuft!
Allgemein
Zeit: Die Termine sind in der unteren Tabelle zusammengefasst.
Ort: Live Onlinevorlesung per ZOOM: https://uni-siegen.zoom.us/j/97315999514 und Videovorlesungen auf moodle.
Links: unisono, moodle
Prüfung
Zeit: 29.08.2022
Ort: PB-H 0101
Ablauf: Bitte melden Sie sich bis spätestens 25.08.2022, 12:00 Uhr an. Die Anmeldung erfolgt telefonisch oder per E-Mail im Sekretariat: A. Brombach, 0271 740 2491, andrea.brombach@uni-siegen.de. Dies ersetzt nicht die Anmeldung zur Prüfung per unisono!
Material

Wird während der Vorlesung in Moodle bereitgestellt.
Den Schlüssel zur Selbsteinschreibung in den Kurs MWDS finden Sie nach Zulassung in unisono unter "Dokumente".

Modus
Die Vorlesung wird per Live-Videokonferenz auf der Plattform ZOOM stattfinden. Der Link ist oben unter "Allgemein" angegeben.
Zusätzlich werden die Vorlesungen aufgezeichnet und in moodle bereitgestellt.
Terminplanung
Erster Termin ist planmäßig Donnerstag, 07.04.2022 per Videokonferenz. Es gibt mehrere Ausfalltermine, die durch Ausweichtermine oder Videovorlesungen auf moodle ersetzt werden. Alle Termine sind unten aufgeführt.

Tag Datum Zeit Raum Status Kommentar
Donnerstag 07.04. 12 ct Videovorlesung findet statt.

https://uni-siegen.zoom.us/j/97315999514

Donnerstag 14.04. 12 ct Videovorlesung
findet statt.  
Donnerstag 21.04.     fällt aus.  
Donnerstag 28.04.     fällt aus.  
Donnerstag 05.05.     fällt aus.  
Montag 09.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Ersatztermin.
Donnerstag 12.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt.  
Montag 16.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Ersatztermin.
Donnerstag 19.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt.  
Montag 23.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Ersatztermin.
Donnerstag 26.05.     fällt aus. (Feiertag)  
Freitag 27.05. 12 ct Videovorlesung
findet statt. Ersatztermin.
Donnerstag 02.06.     fällt aus.  
Montag 06.06.     fällt aus. (Feiertag)  Danke für den Hinweis.
Donnerstag 09.06. 12 ct Videovorlesung findet statt.  
Donnerstag 16.06.     fällt aus. (Feiertag)  
Donnerstag  23.06.     fällt aus.  
Donnerstag 30.06. 12 ct Videovorlesung fällt aus.  
Freitag 01.07. 12 ct Videovorlesung findet statt. Ersatztermin.
Donnerstag 07.07. 12 ct Videovorlesung findet statt.  
Montag 11.07. 12 ct Videovorlesung findet statt. Ersatztermin.
Donnerstag 14.07. 12 ct Videovorlesung findet statt.