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TEM

Transmissionselektronenmikroskop (TEM)

FEI Talos F200X

Das Transmissionselektronenmikroskop (TEM) Talos F200X der Fa. FEI ist am Lehrstuhl kombiniert mit einem energiedispersiven Röntgenspektroskop (EDS) verfügbar. Eine maximale Beschleunigungsspannung von 200 kV ist einstellbar, mit welcher Auflösungen bis zu 0,25 nm erreicht werden können.

Weitere Daten:

Feldemissionskathode
•1,8e9 A/cm2; Vergleich : 4e8 A/cm2
•Strahlstrom: 1,5 pA

Auflösung
•TEM-Punktauflösung: 0,25 nm
•STEM HAADF: 0,16 nm
•EDX: 0,9nm

Beugung
•Kameralänge: 12-5100mm
•Beugungswinkel: +-12

Bild und Video
•16 MP CMOS für Bildaufnahmen
•4k x 4k: 1fps
•512 x 512: 25fps
•Livekamera mit 40 fps für manuelle Suche

Probenhalter
•Einfachkipp für EDS
•Doppelkipphalter für EDS, starke Ausführung
•Kippwinkel beide Achsen +-30°
•Für magnetische Proben (z.B. DSS)
•Doppelkipphalter für EDS
•Kippwinkel beide Achsen: +-30°
•Optimiert für höchste Auflösung und EDS
•Flüssigstickstoffgekühlter Doppelkipphalter für EDS talos-f200x

EDS
•Messzeit für Datenpunkt:
•t<10µs/Punkt à 1e6 Punkte/s
•105 Spektren/s
•Steuerungssoftware und PC
•10x Analysesoftware zur Installation auf andern PCs

Tomographiepaket
•Kippwinkel +-75°
•Steuerungssoftware für semiautomatische Messungen
•Software für Betrachtung auf anderem PC

Sonstiges
•Kühlfalle mit 4-Tage-Reservoir
•Piezosteuerung der Probenposition: 20pm Schrittweite

Am Lehrstuhl wird das F200X zur Untersuchung von kohlenstoffbasierten Nanostrukturen wie carbon-nano-tubes (CNTs), carbon-nano-helices (CNHs), carbon-nano-fibres, tubular-graphitic-cones (TGCs) sowie für dünne Schicht-Systeme bzw. Funktionsbeschichtungen eingesetzt. Mit Hilfe der SAED werden die kristallographischen Eigenschaften der oben genannten Materialen interpretiert. Das EDS-System liefert die chemische Elementanalyse von z.B. nano-Komposit-Gradientenschichten und anderen mehrphasigen dünnen Schicht-Systemen.