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Katalog plus

Technische Ausstattung des Lehrstuhls


Materialentwicklung

Electron-Cyclotron-Resonance (ECR) Mikrowellen-Plasma-CVD-Anlage

ASTEX, Abscheidung von Schichtsystemen und Nanostrukturen

3 Mikrowellen-Plasma-CVD-Anlagen

(1,5 kW, 3 kW, 5 kW), ASTEX, Abscheidung von Schichtsystemen und Nanostrukturen

Hot filament CVD

Abscheidung von Schichtsystemen

Thermische CVD

Synthese von Nanostrukturen und Schichten

2 RF Magnetron-Sputter-Anlagen

Abscheidung von Schichtsystemen

Industrie-Beschichtungsanlage (2xDC, 1x HiPIMS), CC800, Fa. CemeCon

Abscheidung von Schichtsystemen auf komplexen 3D Substraten

Plasmaätzanlage

Strukturierung, glätten, ausdünnen von Wafern oder Schichtsystemen

Galvanik

Metallisierung von Oberflächen und Nanostrukturen




Analytik

mit Elektronen und Ionen:

Feldemissions Rasterelektronenmikroskop (FESEM) mit EDX

Zeiss Ultra 55, Ultrahochaufgelöste Bilder und Element-Analysen für alle technischen und wissenschaftlichen Fragestellungen im Mikro- und Nanobereich

Focused-Ion-Beam-Mikroskop (FIB)

Helios Nanolab 600, Oberflächenstrukturierung und Modifikation

Sekundärmassenspektroskopie

ION-TOF TOF-SIMS, Tiefenprofil-Elementanalyse

Sekundärelektronenmessung (SEY)

Experiment zur Untersuchung des Sekundärelektronenertragskoeffizienten (SEY)

Transmissionselektronenmikroskop (TEM)

FEI Talos F200X, in Kombination mit EDX


mit Photonen:

Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie

Thermo Nicolet 6700, inklusive Option zur Reflexionsmessung, schnelle Messungen zur Strukturaufklärung bei Feststoffen und Gasen

Raman

Thermo Nicolet Almega XR, dispersives Raman mit der Möglichkeit zum Mapping und tiefenaufgelöster Messung von Schichtproben, alternativ: Vermessen von Pulvern oder aber flüssigen Proben

Röntgenfeinstrukturanalyse

Seifert XRD 3000PTS, Röntgenbeugung, X-Ray Diffraction oder Röntgenstreuung ist der Standard zur Strukturaufklärung bei Feststoffen

Laserprofilometer

UBM, Topographie und Rauheitsmessungen auf der Mikroskala

Lichtmikroskopie

Olympus BX51M, SZX10, Schadensanalyse und Strukturuntersuchung


mechanisch:

Mikroindenter

Shimadzu HMV-2000, Härtemessungen

Nanoindenter

Hysitron TriboIndenter, inklusive feedback-control und nanoDMA, vollständige mechanische und tribologische Charakterisierung auf der Nanoskala

Pin-On-Disk

Verschleißmessungen

Rastersondenmikroskop (AFM)

Park Scientific Asia, Oberflächencharakterisierung im Nanobereich

Tribometer

Verschleiß- und Haftuntersuchungen